传感器技术（徐科军 第四版）第二章：电阻式传感器

第二章：电阻式传感器

应变式传感器

压阻式传感器

半导体的压阻效应

• 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应
• 半导体材料的压阻效应特别强
• 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。
• 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大，必须要有温度补偿
• • 半导体电阻率
    • πl为半导体材料的压阻系数，它与半导体材料种类及应力方向与晶轴方向之间的夹角有关
    • E为半导体材料的弹性模量，与晶向有关。
    • • 对半导体材料而言，πl E >>(1+μ)，故(1+μ)项可以忽略

体型半导体应变片

• 结构型式及特点
  • 主要优点
    • 灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍
    • 横向效应和机械滞后极小
    • 温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多
• 测