使用Macondo软件仿真设计聚焦光栅耦合器（Focusing Grating Coupler）-CSDN博客

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使用Macondo软件仿真设计聚焦光栅耦合器（Focusing Grating Coupler）

GMPT, 2024/07/08

聚焦光栅耦合器 (Focusing Grating Coupler) 是一种将空间光耦合到光芯片的光子集成电路器件。聚焦光栅耦合器基于光栅耦合器结构，采用弯曲形结构代替传统的条形结构，使光波在光栅传输中的等相位面实现了汇聚，大大缩短锥形波导的尺寸。因此，聚焦光栅耦合器不仅有光栅耦合器可实现的晶圆级自动测试等优点，还有使得耦合结构更加紧凑的优点。

本文基于Macondo软件FDTD 3D求解器对聚焦光栅耦合器进行仿真，并展示软件的仿真结果。

一、器件的工作原理

本仿真中光栅耦合器的结构如图1所示，包括硅衬底、埋层、光栅耦合功能区域和起保护作用的顶部氧化层。其中，光栅耦合功能区域包含三部分：条形波导（I），锥形波导（II），周期性圆弧型格栅（III）。
图1. 光栅耦合器的结构模型

图1. 光栅耦合器的结构模型

光栅耦合器的工作场景有两种，图 a所示的光输入光栅耦合器和图 b 所示的光输出光栅耦合器。
图2. 光栅耦合器的工作场景示意图 (a)光输入光栅耦合器 (b)光输出光栅耦合器

图2. 光栅耦合器的工作场景示意图 (a)光输入光栅耦合器 (b)光输出光栅耦合器

对于光输入光栅耦合器，输入光以 $P_{in}$ 光功率由光纤注入，首先，一部分穿过光栅向下，没有与光栅发生耦合，其中很大一部分光 $P_{sub}$ 穿透埋层进入衬底，另一部分则被衬底反射进入埋层；其次，一部分被光栅反射或衍射的光 $P_{r}$ 传向与光纤注入相反的方向或其他自由空间；然后，还有一些光 $P_{b}$ 被耦合传向波导传输的背向；最后，一部分光 $P_{w}$ 耦合至波导传输的方向。为提高光栅的耦合效率，需要降低其他方向的光功率，提高波导输出光功率 $P_{w}$ 可以通过公式表示：
$P_{w}=\eta_{CE}P_{in}=P_{in}-P_{sub}-P_{r}-P_{b}$
其中 $ηCE\eta_{CE}$ 就是耦合效率（通常以dB为单位，表示为 $10log_{10}({P_{w}}/{P_{in}})$

对于光输出光栅耦合器，输入光 $P_{w}$ 由波导注入，一部分经过光栅产生向上和向下的光，另一部分 $P_{t}$ 和 $P_{r}$ 分别是穿过光栅或被光栅反射回波导。为提高光栅的耦合效率，需要降低其他方向的光功率，使得向上传输的光 $P_{up}$ 更多的进入光纤， $P_{out}$ 是最终光纤中传输的光，可以通过公式表示：

$P_{out}=\eta_{CE}P_{w}=\eta(P_{w}-P_{r}-P_{t})$

其中 $η\eta$ 被称为光栅耦合器的方向性(通常以dB为单位，表示为 $10log_{10}({P_{out}}/{P_{up}})$

二、器件结构基本设计

2.1光栅耦合器的基本参数设计

光栅耦合器的截面示意图如图3所示，光栅耦合器的设计的基本参数包括：
图3. 光栅耦合器的截面示意图

图3. 光栅耦合器的截面示意图

$Λ\Lambda$ 是光栅的周期
$l_g$ 是栅格齿宽（均匀栅格）
$ff$ 是占空比 $ff=lg/Λff=l_g/\Lambda$
$h_g$ 是刻蚀深度
$θc\theta_c$ 是光纤的倾斜角度
$x_0$ 是光纤中心位置与光栅初始位置的距离

对于光输出光栅耦合器的设计指标包括：

1）方向性（Directionality）：定义为向上衍射的光功率（ $P_{up}$ ）与从波导入射到光栅耦合器的光功率（ $P_{w}$ ）的比值。

2）耦合损耗（插入损耗）：耦合进光纤基模中的光功率（ $P_{fiber}$ ）与从波导入射到光栅耦合器的光功率（ $P_{w}$ ）的比值。

3）穿透损耗：硅衬底中的功率损耗（ $P_{sub}$ ）与从波导入射到光栅耦合器的光功率（ $P_{w}$ ）之比。

4）1dB或3dB带宽：插入损耗比峰值耦合效率低1dB或3dB的波长范围。

5）背向反射损耗（回波损耗）：反射回波导的光功率（ $P_{r}$ ）与从波导入射到光栅耦合器的光功率（ $P_{w}$ ）的比值

为了快速验证设计的合理性，一般在设计光栅耦合器结构时采用2D FDTD 模拟，得到最优的结构参数后，再使用3D FDTD进行验证。图4(a)-(d)分别展示了使用2D FDTD 扫描计算随光栅周期、光纤角度、刻蚀深度、填充因子的变化光栅耦合器的传输特性。
图4. 光栅耦合器的传输特性曲线 (a) 光栅周期范围620nm-700nm (b)光纤角度范围10°-15° (c)刻蚀深度范围70nm-110nm (d)填充因子范围0.2-0.4

图4. 光栅耦合器的传输特性曲线 (a) 光栅周期范围620nm-700nm (b)光纤角度范围10°-15° (c)刻蚀深度范围70nm-110nm (d)填充因子范围0.2-0.4

对于光子集成器件结构设计的最优方案的选择，研究人员通常会利用AI算法进行目标优化。本文利用粒子群算法，通过目标优化得到光栅耦合器耦合损耗最小时的光栅周期、光纤角度、刻蚀深度、填充因子的设计参数，优化结果记录在表1。

表1.目标优化得到的光栅耦合器结构参数
![表1.目标优化得到的光栅耦合器结构参数](https://i-blog.csdnimg.cn/direct/0e9a428ab7ed4e66aa734bbc401a1ef5.png#pic_center)

2.2 聚焦光栅耦合器的3D 结构设计

对于聚焦光栅耦合器的光栅弯曲线的设计可以从文献[1]中的推导得到，公式如下：

$q\lambda_0 = n_{eff}\sqrt{x^2 + y^2} - y n_t\cos{\theta_c}$
其中， $q$ 是光栅线数量， $θc{\theta_c}$ 是光纤的倾斜角度， $n_t$ 是环境包层折射率， $λ0\lambda_0$ 是真空波长， $n_{eff}$ 是光栅的有效折射率。
图5. 聚焦光栅耦合器的结构

图5. 聚焦光栅耦合器的结构

本文中聚焦光栅耦合器结构参数如表2所示，材料参数如表3所示：

表2.聚焦光栅耦合器结构参数

表3.聚焦光栅耦合器材料参数

三、器件仿真结果

通过以上设计方案得到了聚焦光栅耦合器的3D 结构完成后，需要通过3D FDTD 求解器进行完整的特性指标的验证模拟，接下来使用Macondo FDTD 3D求解器进行仿真。

模拟光输入的聚焦光栅耦合器，光源以光纤的TM模式光注入，波长范围1500-1600nm。

图6(a)(b)展示了聚焦光栅耦合器xz截面和xy平面的场分布的结果。可以看出光纤到光栅的耦合，并逐渐汇聚到波导中。

图6. 聚焦光栅耦合器的场分布 (a)xz截面 (b)xy平面

图6. 聚焦光栅耦合器的场分布 (a)xz截面 (b)xy平面本文的聚焦光栅耦合器的耦合效率如图7所示，峰值耦合效率为-3.19dB，1dB带宽约为45nm。

图7. 聚焦光栅耦合器的耦合效率仿真结果

图7. 聚焦光栅耦合器的耦合效率仿真结果 ## 四、总结

本文介绍了聚焦光栅耦合器的工作原理，并利用粒子群算法，使用目标优化得到了该器件最优的光栅周期、光纤角度、刻蚀深度、填充因子的设计参数，最终利用Macondo软件的 FDTD 3D求解器进行模拟验证，得到了工作在C波段光纤到光栅的耦合场分布，以及聚焦光栅耦合器的耦合效率曲线和1dB带宽。

后续将通过 FDTD 3D求解器模拟光输出光栅耦合器，计算光栅耦合器的方向性和背向反射损耗等设计指标。

参考文献

[1] Van Laere F, Claes T, Schrauwen J, et al. Compact focusing grating couplers for silicon-on-insulator integrated circuits[J]. IEEE Photonics Technology Letters, 2007, 19(23): 1919-1921.

[2] Chrostowski L, Hochberg M. Silicon photonics design: from devices to systems[M]. Cambridge University Press, 2015