使用Nuwa TCAD软件模拟InGaAlAs DFB激光器-CSDN博客

使用Nuwa TCAD软件模拟InGaAlAs DFB激光器

GMPT, 2025/07/02

一、研究背景

稀疏波分复用（Coarse Wavelength Division Multiplexing, CWDM）是一种利用多个不同波长的激光光源在单一光纤中传输多通道信号的光通信技术。相较于密集波分复用（Dense Wavelength Division Multiplexing, DWDM），CWDM的波长常见较宽，典型波长范围涵盖1270 nm至1610 nm，每个通道相隔约20 nm，适合短至中距离的数据传输应用。

为了实现这些不同波长的光源，InGaAlAs基的分布反馈式（Distributed Feedback, DFB）激光器因其良好的调制特性与波长可调范围，成为理想的选择。本研究利用Nuwa TCAD模拟平台，设计并分析对应CWDM波长通道的1290 nm与1310 nm InGaAlAs DFB激光器结构。通过调整有源区材料成分与光栅参数，模拟结果可精确拟合激光器的发射波长、临界电流、光输出功率等特性。这些模拟不仅有助于优化各通道激光器的性能，也为实现高集成度的CWDM发光模块提供设计依据。

二、器件结构

图1 InGaAlAs DFB激光器结构

InGaAlAs DFB激光器器件的结构如图1所示，其具备垂直方向异质结构与横向限制的ridge波导设计。整体腔体长度为500 μm，ridge宽度为2 μm，有助于实现良好的横向模式控制与光束质量。主动层采用5对InGaAlAs多量子阱（Multiple Quantum Wells, MQWs）结构，置于上下对称GRINSCH（Grade-Index Separate Confinement Heterostructure）中，此GRINSCH结构由组成成分渐变的InGaAlAs材料组成，能提供良好的光子限制与载流子传输效率。激光器上方为具有光栅结构的InP ridge波导，用以实现波长选择性与稳定的单模输出。底部则为InP基板。

三、结果讨论

图2 (a) 1290 nm DFB激光器L-I曲线 (b) 1310 nm DFB激光器L-I曲线

本研究针对波长分别为1290 nm与1310 nm的InGaAlAs DFB激光器进行Nuwa TCAD模拟，并与实际测量结果进行比对，以探讨不同工作温度下的临界电流与斜率效率变化。

从1290 nm的L-I曲线可观察到，模拟与测量结果在不同温度下具高度一致性。模拟结果显示，当温度由298 K升高至358 K，临界电流从20 mA增加至80 mA，斜率效率则由0.3379 W/A降至0.2144 W/A；测量数据亦呈现相似趋势，临界电流从22.49 mA上升至80.86 mA，斜率效率则由0.3423 W/A降至0.1751 W/A；对于1310 nm的激光器，模拟与测量结果在室温下均呈现优异的激光性能。模拟预测临界电流为12 mA、斜率效率为0.47651 W/A，与测量值（12 mA/ 0.43975 W/A）十分接近。在高温378 K下，临界电流增至55 mA，且斜率效率大幅下降至0.20262 W/A（模拟）与0.17408 W/A（测量）。

整体而言，模拟结果与实验测量具高度一致性，验证了Nuwa TCAD模型对InGaAlAs DFB激光器在不同温度下的发光行为具有良好预测能力。随温度升高，临界电流显著上升，斜率效率则下降，反映非辐射复合增强、载流子漏失等热效应为影响效率之主因。
图3 1310 nm DFB发光波长模拟结果

图3 1310 nm DFB发光波长模拟结果

利用Nuwa TCAD进行激光器件的模拟，我们也成功设计并验证具备单模出光特性的光栅激光器结构。通过精确调控光栅的周期与折射率调变，我们有效建立一个仅允许单一纵模共振的腔体环境。模拟结果如图3所示，激光器输出在中心波长处呈现单一尖锐峰值，其他侧模则明显受到抑制，显示出高度的选模能力。此结果验证了我们设计的光栅结构不仅具备良好的单模特性，同时也展现Nuwa TCAD在复杂光电模拟上的准确性与性能。这项成果对于开发高稳定度、高光谱纯度的光通信与传感应用具有显著价值。

四、总结

此次研究利用NuwaTCAD模拟软件设计并分析InGaAlAs材料系统的DFB激光器结构，针对发射波长、临界电流与光输出功率等关键特性进行模拟与探讨。通过此模拟平台，研究人员能更深入理解激光器内部物理行为与结构参数之间的关联性，并可作为后续器件设计与优化的重要依据。本次成功完成对应CWDM频道波长的1290 nm与1310 nm InGaAlAs DFB激光器结构设计与性能分析，验证其在不同温度下的操作稳定性与效率表现。未来可进一步拓展至1270 nm与1330 nm波段的激光器开发与优化，朝向实现高集成度、高性能的CWDM发光模块迈进。

致谢
本文及相关仿真工作由厦门大学电子科学与技术学院吴挺竹教授和陈忠院长课题组完成，在此表示感谢！

Nuwa TCAD © GMPT

Nuwa TCAD是上海芯钬量子科技有限公司研发的新一代人工智能（AI）加持的半导体工艺和器件仿真软件（TCAD仿真软件），作为多物理场耦合仿真平台，支持模拟各类半导体微电子器件和半导体光电子器件，可用于TFT、MOSFET、JBS、SBD、Micro-LED、OLED、EEL、VCSEL、EML、PD、Type-II型PD等各类半导体器件研究设计。