简易主动隔振实验平台设计与实现——总体方案设计

        随着超精密仪器设备的精度提高，环境振动对设备的性能影响愈发加深。面对精密仪器苛刻的运行环境振动要求，常见的被动隔振方案难以满足低频隔振的需求，主动隔振技术由此被广泛应用在精密仪器设备中。工业应用中的主动隔振系统包含机械系统，电气系统，控制系统等，成本高，设计复杂。为了方便高校和研究所进行主动隔振相关课题研究和验证，本项目旨在给出一套低成本，理论模型清晰的主动隔振实验平台方案。且通过本平台的设计推广得到一套普适性的主动隔振方案设计思路。

        本套方案预计2025年9月之前设计完成并进行实验验证，如有需要实验平台的可以邮件联系，关于方案设计欢迎联系我们进行交流讨论。

        （更新中）

        主动隔振平台主要分为，台体，底座，被动隔振单元，执行器，执行器驱动器、传感器、传感器变送器和控制器八个部分

        台体：拟采用300*300*13mm的光学平板作为隔振平台的台体，其上有安装孔方便后续连接件和负载的安装。同时由于其结构规整，方板的模态能够较好的采用理论仿真逼近。成本约250元。

        底座：拟采用400*400*13mm的光学平板作为隔振平台的底座，其尺寸比台体的尺寸略大，能够提供所需的安装空间，同时方便安装定位机构。成本约500元。

        被动隔振单元：通常采用的被动隔振单元有橡胶，金属弹簧和气浮弹簧。对于实验平台来说，被动隔振单元可以按照需求替换。气浮弹簧需要提供额外的气源，引入额外的成本。橡胶隔振单元的机理模型复杂。目前版本的实验平台采用金属弹簧作为被动隔振单元。采用四角支撑的方案，成本约4*10=40元。

        执行器：采用音圈电机提供非接触的作用力，平板型的音圈电机能够适应台面的位移变化范围更大，但是其通常需要订做，成本高。从低成本的角度出发，圆筒形音圈电机的出力系数更稳定，存在标准化产品，成本相对更低。但是其能够容忍的位移变化很小，所以需要设计实验平台处于一个相对静止的稳态。为了实现六自由度的控制，最少需要布置6个执行器，成本约6*200=1200元。

        执行器驱动器：采用音圈电机的基础上，需要使用驱动器，其实现对控制信号功率放大的作用。音圈电机本身呈现由电阻电感组成的一阶低通系统，同时由于反电动势，噪声等影响，驱动器采用简单的开环功放难以达到较好的控制效果。线性驱动器的精度高，但是效率低难以满足大功率的应用；开关型驱动器存在非线性过程，精度有所下降但是效率高。目前版本的实验平台采用电流反馈的线性功放，成本约6*250=1500元。

        传感器：传感器可以选择加速度，速度或者位移传感器。这三者存在微分的关系，加速度响应的时延最小。通常主动隔振的应用采用速度传感器居多。本项目采用加速度传感器作为反馈传感器，目前市面上IEPE的传感器产品居多，选用10g量程的加速度传感器。为了实现六自由度的控制，最少需要布置6个传感器，成本约6*1000=6000元。

        传感器变送器：IEPE传感器是两线制的信号，从其转换成电压信号需要提供恒流源进行信号变换。故采用加速度传感器需要使用信号变送器进行转换，成本约300*6=1800元。

        控制器：在工程中，通常采用MCU作为控制器。本项目拟采用STM32作为主控，匹配六通道的ADC和DAC进行信号采集和信号输出，核心控制算法采用PID即可实现简单的闭环控制。成本约1000元

        综合成本方案成本分析，整套主动隔振实验平台需要12290元。

        机械系统设计方案

        采用四角支撑的布局方案，每一个支撑脚包括一个金属弹簧，一个横向传感器和横向执行器，一个垂向的传感器和执行器。

        电气系统设计方案

        采用OPA549作为主要的功率放大芯片，单芯片需要采用双电源供电方案，对电源要求较高，考虑采用双芯片差分隔离输出的方案。电流反馈采用模拟方案，能够实现较好的控制效果。

        控制系统设计方案

        采用STM32作为主控，考虑通过SPI协议与ADC和DAC芯片进行通讯，采用串口或者网口协议与上位机进行通讯，实现参数设计和数据记录。