SECS/GEM金南瓜讲解：通讯

什么是GEM 控制状态?

GEM板的控制状态是E30 GEM的基本要求之一。它定义了主机和设备之间的协作级别，并指定了操作员如何在不同级别的主机控制状态下进行交互。

在半导体工厂中，主机或操作员可以控制设备的加工。双方同时控制设备会带来问题。所以当一方控制设备时，另一方所能进行的操作将受到限制。例如，如果操作员暂停了工艺处理，则不应允许主机发送恢复处理或启动新作业的命令。GEM控制状态就是为了防止此类问题的发生而被建立的。

控制状态如何工作?

控制状态提供三个基本级别的控制。每个级别都描述了主机和设备端可以执行哪些操作。

远程

主机可以最大限度地控制设备。

本地

操作者可以尽可能地控制设备。

主机可以完全访问信息。主机可以使用其他GEM特性(如收集事件、跟踪和状态数据收集)收集数据。

限制主机如何影响设备操作:

禁止启动处理(例如START)或导致物理移动的远程命令。在处理期间，还禁止影响处理的远程命令(停止、中止、暂停、恢复)。

离线

操作者对设备有完全的控制。

主机对设备操作没有控制，信息收集能力非常有限。

In many equipment control applications there is a need for a GEM host to modify one or a small set of
process parameters associated with a recipe. The number of parameters modified, frequency of modification (e.g.,
wafer-to-wafer, batch-to-batch, etc.), range of modification, etc., is largely a function of the equipment control
application. Utilizing GEM, at least two methods are envisioned for modifying process parameters on a tool. With the
first method, ‘Equipment Constants’ can be used to relate process parameters of the updated recipe. Equipment
Constants can also be used in a mode where they relate suggested modifications to process parameters from the stored
recipe; that is, the constants contain only the ± differential from a nominal value. The former mode is preferred because
it better ensures data integrity between the controller and tool. With the second method the entire recipe could be
downloaded, but this results in an enormous amount of communication