MICROELECTRÓNICA
Mems para aplicaciones automotrices y
aeroespaciales
¿Quién es el autor/autores y el título del libro, el año
y la editorial?
Autor del libro:
Michael Kraft Neil White
Titulo:
Mems for Automotive and Aerospace Applications
Año de publicación:
2013
¿Cuál es el tema o temas contenidos en el libro?
Introducción al MEMS
Historia del MEMS
Sensores y Actuadores
Materiales para el Diseño de MEMS
Funcionamiento
Estructuras complejas, dispositivos y sistemas en la escala de micro-metros, Micro-
Maquinado
Fabricación
Aplicaciones
¿Qué causa motiva al autor hacer esta publicación?
La tecnología MEMS representa una solución conceptualmente sencilla para este
dilema: si modificamos los dispositivos mecánicos para que no solo sean pequeños
sino que también sean totalmente compatibles con los procesos de fabricación de
circuitos integrados, podemos hasta cierto punto, tener lo mejor de ambos mundos.
Explora las características básicas y las aplicaciones comunes de una tecnología que
se ha incorporado en una amplia variedad de dispositivos electrónicos de alto
rendimiento.
¿Cuáles considera que son conocimientos básico,
relacionados con los capítulos del libro texto. Para
entender el tema o temas contenidos?
Para entender MEMS se tiene que tener claro algunos conocimientos sobre mecánica,
saber el funcionamiento de algunos componentes de instrumentación industrial para
poder llevarlos a escalas microscópicas, también entender conocimientos básicos de
circuitos digitales, y conocer procedimientos para la programación.
En el Perú o en su experiencia personal, en áreas,
subsistema hardware o dispositivos de electrónica se
puede encontrar aplicaciones del tema tratado en el
libro.
En el Perú se esta manejando de una manera activa la tecnología MEMS pero en segundo
plano, se tienen múltiples aplicaciones como la utilización de sensores en sistemas de
seguridad para automóviles, en la biomédica para obtener información precisa de nuestros
sistemas y órganos vitales, instrumentos de medición y control para la industria.
MEMS PARA AUTOMOCIÓN
OBJETIVOS
Conocer las características generales, ventajas y aplicaciones de la Microingeniería en
Sistemas MEMS
Determinar las características principales de los Sistemas MEMS
Conocer los beneficios y ventajas de los Sistemas MEMS y NEMS.
El presente trabajo de investigación se centra en la aplicación MEMS para automotrices en
el sistema de seguridad y el confort de los pasajeros, los sensores para aplicaciones de
control de estabilidad de vehículos automotrices y los sistemas de monitoreo de presión
de neumáticos de automóviles. Para el desarrollo, primero se estudiará la tecnología
MEMS, se mostrarán las principales conclusiones obtenidas en su caracterización.
SISTEMAS MICROELECTROMECÁNICOS (MEMS)
Los Sistemas Microelectromecánicos (Micro-Electro-Mechanical-Systems) MEMS
son la integración de elementos mecánicos, sensores, actuadores, y la propia
electrónica en un substrato de silicio a través de tecnología de la micro fabricación.
Los MEMS, también conocidos como microsistemas, son definidos típicamente como
dispositivos microscópicos diseñados, fabricados, y utilizados para interactuar o
producir cambios dentro de un ambiente controlado.
CARACTERÍSTICAS.
Los MEMS poseen una serie de ventajas frente a los sistemas de mayor tamaño, Entre algunas de éstas características
destacan:
Posibilidad de fabricación masiva con bajo costo.
Componentes más finos y delicados.
Tamaño y peso reducido.
Consumo de energía reducido.
Alta precisión y biocompatibilidad.
Micro-materiales con propiedades que les permitan ser más fuertes y ligeros.
Pequeñas dimensiones
Alto desempeño
Confiables
Fácil adaptación e integración a sistemas actuales
Alargan la vida del producto
DISPOSITIVOS.
Los dispositivos de los microsistemas (MEMS)
1. Microsensores: son dispositivos MEMS diseñados para medir cambios e
interactuar con el ambiente, y desde el punto de vista de la comercialización, la
aplicación más exitosa de los dispositivos MEMS se ha reflejado en los sensores
2. Microactuadores: Son un grupo de dispositivos diseñados para proporcionar un estímulo a
otros componentes o dispositivos MEMS. En los microsistemas los actuadores son operados
electrostáticamente o térmicamente.
Ejemplos de actuadores en el mercado son los siguientes:
Micro bombas.
Actuadores de presión para chorro de tinta mediante pulsos.
Actuadores térmicos para chorro de tinta.
Cabezas impresoras térmicas.
Amplificadores de fluidos.
Elementos de comunicación ópticos.
Espejos exploradores.
Micro- bombas y válvulas implantables, para dosificar medicamentos
3. MEMS ópticos: Son dispositivos diseñados para dirigir, reflejar, filtrar, y/o
amplificar la luz. Estos componentes incluyen interruptores ópticos y reflectores.
Los microsistemas de MEMS óptico (a menudo Denominado "MOEMS"), se
utilizan en particular en las telecomunicaciones
4. MEMS para microfluidos: Son dispositivos diseñados para interactuar con
fluidos. Dispositivos como bombas y válvulas se han diseñado para trabajar con
pequeños volúmenes de fluido
• 5. Bio MEMS: Son dispositivos que, como muchos de los MEMS para microfluidos,
son diseñados para interactuar específicamente con muestras biológicas. Dispositivos
como éstos son diseñados para interactuar con proteínas, células biológicas, reactivos
médicos, etc. y pueden usarse para suministrar medicamentos u otro análisis médico
en sitio.
APLICACIONES.
Las principales ventajas de los microsistemas Mems son:
Producir dispositivos mecánicos más pequeños, livianos, en versiones más rápidas, con mayor precisión,
consumos de energía reducidos, biocompatibles.
Producir sensores, aprovechando las propiedades electro – mecánicas del Si, donde las características
eléctricas cambian en respuesta a cambios de parámetros particulares externos como: temperatura,
presión, aceleración, humedad y radiación.
El uso de materiales y procesos comunes, que integran la microelectrónica con componentes
micromecánicos, para lograr mejoras en el funcionamiento y en los costos.
Procesos de fabricación en lotes para grandes volúmenes de componentes a bajo coste.
Poder desarrollar procesos tecnológicos para incluir materiales y técnicas no utilizadas en
microelectrónica, pero que ofrecen ventajas especificas en la elaboración de dispositivos micromecánicos.
Integración económica en la elaboración de sistemas completos que incluyan las funciones de detección,
cálculo y actuación.
APLICACIONES
Automoción.
En la actualidad los vehículos incorporan microsensores de presión en el sistema de control
electrónico del motor y acelerómetros en el airbag, algunas estimaciones apuntan a que en
un futuro no muy lejano los sensores y la electrónica represente un 30% del valor del
automóvil.
Industria aeroespacial y militar.
Aunque el volumen de microsistemas en este sector es bastante reducido muchos de éstos,
son posteriormente usados en otros sectores, lo que amplia sus posibilidades de mercado
(sismógrafos como acelerómetros de precisión utilizados en la industria del automóvil,
sistemas de análisis y predicción meteorológica en los aeropuertos, etc.).
MEMS aplicado en automotriz
La primera parte explora MEMS para una variedad de aplicaciones automotrices. Se considera el papel de MEMS
en la seguridad y el confort de los pasajeros, los sensores para aplicaciones de control de estabilidad de vehículos
automotrices y los sistemas de monitoreo de presión de neumáticos de automóviles, junto con los sensores de
presión y flujo para la gestión del motor, y los MEMS de RF para sensores de radar de automóviles.
Sensores MEMS para los sistemas de seguridad del pasajero.
Detección de la posibilidad de un accidente automovilístico para controlar las bolsas
de aire compone el ancho uso de sensores MEMS en la industria del automóvil. El
uso de acelerómetros MEMS para el control de bolsa.
Sistema airbag: fundamentos
Los sistemas de seguridad pasiva tienen la función de ofrecer la mejor protección
posible de los pasajeros en caso de accidente. Hoy en día, existen numerosos modelos
de airbag y poco a poco se han convertido en un estándar en todas las clases de
vehículos.
Bolsa de aire en airbag
La bolsa de aire está compuesta por un tejido de poliamida muy resistente y de larga duración. Posee
un coeficiente de fricción muy bajo para que pueda desplegarse fácilmente y para que el contacto con
la piel sea más suave.
Desconexión de la batería
Para evitar el peligro que supone un cortocircuito y el consiguiente fuego que puede
ocasionarse, la batería de la red de a bordo se desconecta durante un accidente.
Activación de bolsas de aire
Clasificación de los eventos de choque
Un vehículo de pasajeros tiene 6 degrados de libertad, 3 movimientos de traslación, usualmente
solo la traducción longitudinal como deseable, y 3 movimientos de rotación que generalmente
son todos indeseables. La Figura 1.3 muestra estos movimientos de traslación Los choques
longitudinales hacia adelante se han clasificado en diferentes tipos (Fig. 1.4)
Acelerómetros para sistemas de detección de choques
Antecedentes de los sistemas de detección de choques
Uno de los primeros sistemas de detección de choques fue el sistema de detección de bolsas de aire
delanteras distribuidas (basado en sensores de deserminación electromecánicos instalados en la parte
delantera del choque de Vchiele Curgen, 1999). El posicionamiento de estos sensores en la parte delantera
del vehículo permitió la detección temprana de desaceleración durante las primeras etapas de un evento de
choque. Una de las principales desventajas de usar estos sensores hoy en día es el costo de fabricación e
instalación. Se utilizan dos tipos de unidades de detección clectromecánica en estos primeros sistemas de
detección de choques, basados en los principios de bola en tubo y rolamita. El sensor de bola en tubo se
basa en una bola sostenida por un imán permanente o un mecanismo de resorte hasta que la bola
experimente una fuerza suficiente que actúa sobre ella debido a la desaceleración del vehículo cuando la
bola es liberada. Viaja a lo largo de un tubo estrecho (fig 1.5a), para cerrar un interruptor mecánico en el
extremo del tubo para cerrar el circuito eléctrico.
Principios de funcionamiento para los sensores MEMS
El principio de funcionamiento del acelerómetro en la aplicación MEMS es similar a las
aplicaciones macroscópicas. Una masa sísmica está restringida por un resorte,
adecuadamente amortiguada y detectada mediante una de muchas técnicas diferentes
Cuando un dispositivo MEMS experimenta una aceleración o declinación, la masa sísmica se
mueve en relación con el alojamiento del dispositivo. Al eliminar cualquier aceleración
aplicada al dispositivo, la masa regresa a su posición original.
Implementación del sensor MEMS
La unidad electrónica de control de la bolsa de aire (ECU) requiere un sensor
acelerómetro, que controlará las desaceleraciones de colisiones frontales del orden de
35 a 100 g y aceleraciones para impactos laterales de hasta 250 g.
Principios de funcionamiento para el sensor MEMS
El principio de funcionamiento de los sensores MEMS de velocidad angular se basa en el fenómeno de Coriolis de
estructuras oscilantes (masas sísmicas) que se mueven en un marco de referencia inercial. Estructuras oscilantes para
continuar oscilando en el mismo plano o dirección, aunque la estructura de soporte esté perturbada
ortogonalmente a ese plano o dirección (fig. 1.9). Las figuras 1 9a y 1 9b muestran una masa que oscila dentro de
una carcasa (iniciada por algún medio que no se muestra en el diagrama) Una vez que la carcasa se gira con una
aceleración angular, la masa tiende a continuar oscilando dentro del mismo plano del marco inercial de referencia
externa a la carcasa Visto en relación con la carcasa, el acumulador tiene la tendencia de moverse hacia la parte
inferior derecha de la carcasa y la parte superior izquierda de la carcasa cuando oscila (Fig. 1.9c).
