电子教学套件：FinFET与FDSOI工艺探索

"电子教学套件是针对现代电子教学应用开发的一种综合教学工具，旨在缩小高校教学与集成电路工业界之间的差距。它强调理论知识的实际应用，提供最新的技术信息，并为集成电路教育提供解决方案。该套件包括多种版本，如工艺版、器件版、电路版和射频版，可满足不同层次的教学需求。套件中的器件类型丰富，从基础的二极管、BJT、无源元件、NMOS-180nm，到更高级的NMOS-28nm、FinFET、FDSOI和GaN等，甚至可以根据教师需求定制新的器件或添加特性。" 在电子教学过程中，学生不仅可以学习器件的基础知识，如Diode、BJT的工作原理，还可以通过实践操作了解器件的测量和建模，从而提升工程实践能力。例如，FinFET作为一种应对短沟道效应的先进技术，因其独特的三维结构，有效栅宽增加，增强了栅控能力，降低了漏电流，从而降低了功耗。与传统的平面MOSFET相比，FinFET在降低DIBL和Subthreshold Swing方面表现优异。 FDSOI（全耗尽硅绝缘层上硅）则是另一种先进的工艺，其衬底隔离特性带来了更好的电隔离效果，减少了漏电，降低了寄生电容，有助于实现高速、低功耗的器件。与FinFET相比，FDSOI在某些性能上有其独特优势，但两者都面临着各自的工艺和技术挑战。 在教学实践中，学生将有机会接触到实际的器件测量，通过选择待测器件、连接测试设备，以及使用专门的测量软件来完成测试。这些基本的测量步骤有助于培养学生的实验技能和问题解决能力，为他们未来进入IC工业界做好准备。通过使用电子教学套件，学生不仅能够跟进行业发展的步伐，还能在动手实践中深化对现代电子技术的理解。