半导体生产工艺与成本解析

"半导体工艺名词及解答" 半导体工艺涉及众多复杂的环节和专业术语，这些名词解释和解答为我们揭示了半导体制造过程中的关键要素。以下是基于提供的内容所涵盖的知识点： 1. **成本构成**：半导体制造的成本主要包括直接材料（如芯片）、间接材料（如气体和化学液体）、人力、机器折旧与维护、研究费用以及生产支持费用等。这些因素共同决定了工厂的整体运营成本。 2. **固定成本(Fixed Cost)**：固定成本是指在一定产量范围内不随产量增减而变动的成本，例如机器折旧、研究费用和部分人力成本。在理想情况下，如果无报废产生，固定成本最小化，CPYield（每片芯片的有效IC数量）越高，效率就越大。 3. **生产周期与成本关系**：缩短生产周期能降低制造成本，减少在制品、材料库存，节省管理成本，并有助于提升客户满意度和公司信誉。 4. **排气系统**：半导体制造过程中需要处理各种废气，排气系统通常分为一般排气、酸性排气、碱性排气和有机排气四个系统，以确保环境安全和工艺清洁。 5. **高架地板**：高架地板在半导体工厂中分为有孔和无孔，主要作用是安装离子发射系统以防止静电，维护生产环境的稳定性。 6. **Mask Shop分类**：Mask Shop（掩模车间）的Class1&100和Fab1&Fab2指的是不同级别的洁净室，分别用于光罩制作和芯片制造的不同阶段，如光刻和工艺区域。 7. **真空系统**：工艺真空系统为生产提供必要的真空源，如真空吸笔、光阻涂布等操作，保证工艺精度和清洁度。 8. **MAU (Make-Up Air Unit)**：新风空调机组负责向洁净室输送新鲜空气，保持室内温度恒定（通常为23°C±1°C，光刻区域要求更精确至23°C±0.5°C），并去除尘埃粒子，确保微环境的洁净度。 9. **FFU (Filter Fan Unit)**：FFU系统是一种过滤风扇单元，用于维持洁净室的微粒控制，通过高效过滤器提供层流空气，进一步提高室内空气质量。 半导体制造是一个高度专业化的过程，涵盖了材料科学、化学、物理、工程等多个领域的知识。理解这些术语和概念对于深入研究半导体产业至关重要。